摘要：金融界2023年11月23日消息，据国家知识产权局公告，苏州迈为科技股份有限公司取得一项名为“一种用于磁控溅射的阴极装置“授权公告号CN220057007U,申请日期为2023年6月。专利摘要显示，本实用新型公开了一种用于磁控溅射的阴极装置，其在实际工作过程中可以使得磁棒组件等会说。
...金融界2023年11月23日消息，据国家知识产权局公告，苏州迈为科技股份有限公司取得一项名为“一种用于磁控溅射的阴极装置“授权公告号CN220057007U,申请日期为2023年6月。专利摘要显示，本实用新型公开了一种用于磁控溅射的阴极装置，其在实际工作过程中可以使得磁棒组件等会说。
固定法兰和磁棒，靶筒组件的第一端用于与驱动源配合，以在驱动源的驱动下转动，靶材本体套设于靶筒组件，磁棒位于靶筒组件内部，固定法兰传动连接在靶筒组件的第二端，驱动源驱动靶筒组件转动时，靶筒组件能够沿其轴向相对固定法兰移动，磁棒相对于固定法兰静止。该靶材模组在工作等会说。
gu ding fa lan he ci bang ， ba tong zu jian de di yi duan yong yu yu qu dong yuan pei he ， yi zai qu dong yuan de qu dong xia zhuan dong ， ba cai ben ti tao she yu ba tong zu jian ， ci bang wei yu ba tong zu jian nei bu ， gu ding fa lan chuan dong lian jie zai ba tong zu jian de di er duan ， qu dong yuan qu dong ba tong zu jian zhuan dong shi ， ba tong zu jian neng gou yan qi zhou xiang xiang dui gu ding fa lan yi dong ， ci bang xiang dui yu gu ding fa lan jing zhi 。 gai ba cai mo zu zai gong zuo deng hui shuo 。
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